【开元体育，开元体育app，开元体育官方网站，开元体育app官方版，开元体育手机app下载安装】华虹12寸晶圆厂装备大陆最先进沉浸式光刻机：迈向14nm
2023-08-23 
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本文摘要：中芯国际花上了1．2亿美元从荷兰ASML（阿斯麦）买了一台EUV极紫外光刻机，未来可用作生产7nm工艺芯片，长江存储也步入了自己的第一台光刻机，某种程度来自ASML，不过是193nm沉浸式，用作产20－14nm工艺的3DNAND存储器晶圆，7200万美元一台。
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中芯国际花上了1．2亿美元从荷兰ASML（阿斯麦）买了一台EUV极紫外光刻机，未来可用作生产7nm工艺芯片，长江存储也步入了自己的第一台光刻机，某种程度来自ASML，不过是193nm沉浸式，用作产20－14nm工艺的3DNAND存储器晶圆，7200万美元一台。
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